에이치엠넥스는 자회사인 에스엠아이(SM I)가 차세대 반도체 공정의 핵심 부품인 광온도센서(Optical Temperature Sensor)를 국내 최초로 국산화하는 데 성공했다고 8일 밝혔습니다. 더불어, 이 센서가 마이크론 싱가포르 공장에서 진행한 퀄테스트(Qualification Test)를 최종 통과하며 글로벌 반도체 시장에서의 공급 기반을 마련하였습니다.
에스엠아이는 지난해 8월부터 마이크론 싱가포르 공장에 광온도센서를 장착하여 웨이퍼 수율과 공정 안정성을 검증하는 테스트를 진행했으며, 이번 최종 승인을 받게 되었습니다. 이로써 에스엠아이는 글로벌 반도체 양산 라인에 국내산 광온도센서를 본격적으로 공급할 수 있게 되었습니다. 마이크론 싱가포르 공장의 광온도센서 월 사용량은 약 1200개로 추산되며, 2026년에는 이 수량의 10% 이상을 공급하는 것을 목표로 하고 있습니다. 또한, 2027년 이후에는 수주량이 50~60%까지 확대될 전망입니다. 실제 수주 접수는 올해 1분기부터 시작될 것으로 예상됩니다.
광온도센서는 반도체 플라즈마 에칭 공정 챔버 내에서 빛의 특성 변화로 온도를 측정하는 정밀 센서입니다. 광섬유를 매개체로 활용하며, 센서 끝단에 특수 화학물질 배합물을 도포한 후 빛을 조사하여 형광 물질의 감쇄 시간 변화를 분석하는 방식입니다. 이 센서는 강한 전자파, 고전압, 폭발 위험이 존재하는 환경에서도 안정적으로 작동하며, 비접촉 방식이기 때문에 고온, 고전압, 회전, 진공 환경에서도 유리합니다.
에이치엠넥스는 자회사인 에스엠아이를 통해 정밀 센서 사업을 영위하며, 이번 광온도센서의 국산화와 글로벌 인증 취득으로 시장 경쟁력을 확보하고 있습니다. 이번 성공은 국내 반도체 산업의 핵심 부품 국산화와 공급 역량 강화에 중요한 역할을 할 것으로 기대됩니다.
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