예스티,’세미콘코리아’ 참가 “고압어닐링·습도제어 장비 글로벌기업 관심”
반도체 장비 전문기업 예스티가 국내 최대 반도체 산업 전시회인 ‘세미콘코리아 2023’에서 고압 어닐링 장비와 차세대 습도제어 장비 네오콘 등이 글로벌 반도체 및 장비 기업들로부터 큰 관심을 받았다고 7일 밝혔다. 고압 어닐링 장비는 반도체 제조공정에 적용되는 핵심 장비다. 2021년 개발에 착수했으며 알파테스트 완료 후 연내 베타 테스트를 거쳐 상용화를 목표로 하고 있다. 예스티의 고압 어닐링 장비는 300~ 900℃에서 고압(최대 30기압)을 가해 어닐링 공정을 진행할 수 있다. 네오콘은 반도체 이송장치 ‘EFEM(Equipm…
