이트론, SoW 개발 성공 “반도체 생산공정 최적화로 경쟁력↑”
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서버 및 스토리지 전문기업 이트론이 반도체 생산 공정의 모니터링 센서 시스템인 ‘센서 온 웨이퍼'(이하 SoW)의 개발에 성공했다. 13일 반도체 업계에 따르면 이트론은 SoW 모니터링 시스템 관련 30여종의 국내외 특허를 보유하고 있다. 또 SoW 출시를 위해 제품 테스트 및 모니터링 시스템 운영 프로그램 개발도 완료했다. SoW는 반도체 제조에 필수적으로 사용되는 모니터링 센서 시스템이다. 반도체 부품의 크기, 정밀성, 정확성 등을 결정하는 핵심공정인 에칭 공정내 온도 및 플라즈마상태 등을 측정하여 공정을 실시간으로 모니터링…
