시노펙스, 국내 최초 10나노급 AF필터 생산라인 구축
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전량 수입되는 10나노 이하급 첨단 반도체 케미컬여과용 AF필터(불소수지필터)가 시노펙스에 의해 국산화될 전망이다.시노펙스는 9일 10나노급 AF필터 생산 시설구축을 위한 설비투자를 결정했다고 밝혔다. AF필터는 ePTFE 소재를 사용하는 필터로 반도체 세정공정에서 사용되는 불산, 황산, 질산 같은 강산에서 견디면서도 나노급 크기의 불순물을 제거하는 역할을 한다.특히 필터 자체에서 발생 가능한 용출물 농도를 PPT (Part per trillion, 수조 분의 일) 수준으로 관리해야 하는 것이 특징으로 현재는 전량 수입에 의존하…
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