시노펙스, 국내 최초 반도체 공정용 15나노 AF필터 개발
시노펙스가 국내 최초로 15나노 AF필터 (All Fluoropolymer, 불소수지소재) 개발에 성공했다. 오는 31일부터 개최되는 세미콘코리아 2024 전시회에서 공개할 예정이다.AF필터는 필터 케이스 및 내부 필터 전체를 PTFE 소재를 사용하며 반도체 생산공정에서 사용되는 불산, 황산, 질산 같은 강산과 200도 이상의 고온에서 견디면서 불순물을 제거하는 역할을 한다.특히 AF필터에 사용되는 PTFE 소재는 미국 고어사에서 전 세계 시장을 과점하고 있으며, 특히 국내에는 20나노 이하의 첨단 필터용 소재를 판매하지 않고 있…
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