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와이씨켐, 6월 반도체 웨이퍼 세정장비 첫 공급 기대

와이씨켐, 6월 반도체 웨이퍼 세정장비 첫 공급 기대

반도체 정밀화학 소재 전문 기업인 와이씨켐은 오는 6월 반도체 웨이퍼 특수 세정장비를 국내 반도체 기업에 공급할 계획이라고 27일 밝혔다.와이씨켐이 개발한 웨이퍼 특수 세정장비는 싱글워터 타입과 배치(batch) 타입 두 방식 모두 가능한 하이브리드 세정장비다. 또 다른 반도체 관련 기업과도 현재 수주 협상을 진행 중이라고 회사 측은 설명했다. 회사 관계자는 “반도체 고집적화에 따른 웨이퍼 세정의 중요성이 커지고 미세 오염 물질 제거가 반도체 수율에 미치는 영향이 높아지고 있다”며 “반도체 특수 세정장비를…

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